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探讨半导体洁净空调系统输入源替代的节能方案

导读: 通过对半导体洁净空调系统实际运行工况的研究,基于厂务技术大系统概念,突破传统思维,提出了空调系统输入源替代的优化运行模式,在保证系统稳定的同时,大幅提高运行经济性。

  OFweek节能网讯:1、系统介绍及运用

  1.1洁净空调系统原理介绍

  根据生产和科研的要求对室内空气环境的沽净度、温度、相对湿度以及压力、噪声、振动、静电等参数都进行控制的房间叫洁净室或洁净厂房。洁净室的四大技术要素就是:粗效,中效和高效三级过滤,足够的净化送风量,室内正压的建立和维持,以及终端高效或超高效过滤器的设置。洁净空调系统就是保证洁净室正常运行的系统,现在一般都把空气调节输入源系统(冷冻水站,热水站,蒸汽等),空气输送系统(新风系统,循环系统,排风系统)作为洁净空调系统的组成部分,这也是厂务大系统管理的必然趋势。现在常见的洁净空调系统原理图如(图1),是以MAU(新风机组)+DC(干表冷)+FFU(风机过滤单元)的系统方案,房间的湿度由新风机组保证,温度由干表冷保证,洁净度依赖于FFU,这种方式对于今后工艺的扩展性(工艺间指标升级)比较灵活,运行能耗与以往传统模式比要低的多,这也是即使初始投资较大也选择其的主要原因。

  图1(常见洁净空调系统原理图MAu+Dc+FFu)

  1.2洁净空调系统运行工况

  输入源有冷冻水(降温除湿),热水(加热),蒸汽(加湿),冷冻水由冷冻站提供,热水由水与蒸汽换热的热交换站提供,蒸汽由市网提供,洁净空调在全年实际运行中对输入源的需求是不同的,依据新风露点温度的控制来确定是除湿或加湿从而保证房间湿度,依据房间实时温度来调整干表冷冷冻水的流量从而保证温度。由于房间温湿度的具体要求,一般其空气露点温度在l3度左右,夏季必须要用冷冻水除湿(要降到房间空气露点温度),为了保证合理的送风温度还需热水加热但不需蒸汽加湿,冬季需要冷冻水降温不需除湿,热水加热,蒸汽加湿,过渡季节工况相对复杂,但我们总能找到一个连续的时间段有除湿工况时,蒸汽就可以不用,热水的需求热量也相对较小,也总能找到一个连续的时间段有蒸汽加湿工况时,热水需求量也较大,但此时冷冻水只有降温的需求。这两个时间段广义上说是夏季和冬季,从运行经验的积累看应是4~10月,l2~2月。冷冻站是厂务的耗电大户,占厂务电耗的60%以上,因此节电和节蒸汽一般情况下常规做法是合理控制输入源的使用量,改善自控,人工干预能收到一些效果,但空间不大在一定连续时间段内找到其它热源替代热水,其它冷源替代冷冻水是否给我们打开洁净空调节能的另一个思路。

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